国家电网公司“十二五”信息通信典型缺陷案例库发布

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电网(b)FA→Ar/O2活化后键合界面。(b-d)混合键合实现的Cu-Cu界面TEM图像【总结与展望】本研究开发出的甲酸(FA)→Ar/O2表面协同活化方案跳出了混合表面选择性构建官能团的困境，息通信典型缺陷案基于共羟基化的策略有效将键合温度降低至200℃。

通过Cu-Cu与SiO2-SiO2直接键合来分别提供电气连接与机械支撑，例库能够有效将芯片间互连节距缩减至1μm以下。(c)(e)Ar/O2活化后键合界面及元素组成分析最终，发布利用甲酸→Ar/O2活化实现共羟基化的Cu和SiO2表面在200℃下成功完成了Cu/SiO2混合键合。降低混合键合温度的关键在于降低Cu-Cu与SiO2-SiO2两类界面的键合温度，国家公司但Cu-Cu低温键合需要在高真空环境下以维持表面的原子级清洁状态，国家公司SiO2-SiO2的低温键合则依赖于表面构建的高活性官能团（如-OH）。

本项研究工作在国家自然科学基金面上项目、电网黑龙江省自然科学基金联合引导项目和黑龙江省头雁团队的资助下完成，电网该论文入选ACS Applied Materials  Interfaces期刊13卷32期的封面图片（见图7）。虽然界面处仍有少量微孔洞存在，息通信典型缺陷案但从整体数量上要低于文献中结果。

本研究成果有望应用于高密度无凸点三维互连，例库将促进新一代以内存为中心的芯片架构和类单片集成高性能器件开发。

(d)界面微孔洞元素组成EDS分析图4.表面协同活化实现的Cu-Cu界面电学稳定性测试此外，发布两类表面协同活化方案虽然都能够实现SiO2表面的羟基化，发布然而由于甲酸的引入推测发生亲电腐蚀及酯化反应在SiO2-SiO2界面中会不可避免的引入碳相关官能团(HCOO-)并造成残留，如图5所示。2个半月的狗狗能洗澡吗答案是：国家公司可以，但是应该在每个月的第一次洗澡之后进行一次维护性洗澡，以避免过分洗澡。

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